[实用新型]一种晶圆背面磨床的物料固定装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料固定装置，用以放置晶圆盒，所述物料固定装置包括第一安装板、第二安装板、安装柱、卡块组件以及卡板组件，所述第一安装板与第二安装板相连接，多个所述安装柱设置在第二安装板下方，所述卡板组件设置在第一安装板上端面的中部，所述卡块组件设置在第一安装板上端面且位于卡板组件四侧，所述卡板组件与晶圆盒的底面相接触，所述卡块组件与晶圆盒相配合；所述卡块组件包括两个对称设置的第一卡块以及两个对称设置的第二卡块，所述第一卡块与第二卡块的一个侧面上均设置有阶梯状的卡槽。本实用新型适配四个不同规格的晶圆盒，使用灵活方便，降低了生产成本，提高了生产效率。