[实用新型]一种超高真空样品转移机构

摘要

本实用新型公开了一种超高真空样品转移机构，该超高真空样品转移机构包括转移体、载物件、无源吸气泵、真空计和观察窗。转移体形成有转移腔，转移体上设有第一真空法兰、第二真空法兰、第三真空法兰和第四真空法兰，第一真空法兰能够与样品制备真空系统密封连接。载物件设在转移腔中，载物件用于承载样品。无源吸气泵与第二真空法兰密封连接，无源吸气泵能够无源形成并维持转移腔的真空环境。真空计与第三真空法兰密封连接。观察窗与第四真空法兰密封连接，第四真空法兰位于转移体的顶壁上。该超高真空样品转移机构能够便于长时间的运输且能长时间维持超高真空度。