[实用新型]一种低交叉轴串扰敏感结构有效
| 申请号： | 202022646355.1 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213933915U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王建波;王晨晟;耿安兵;姚远;董亭亭 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 高兰 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种低交叉轴串扰敏感结构，其在光学微加速度计中位于衍射光栅正下方，所述敏感结构包括：惯性质量块、硅基底、悬臂梁和带腔的玻璃衬底；所述的低交叉轴串扰敏感结构包括：惯性质量块、硅基底、悬臂梁和带腔的玻璃衬底；所述硅基底中部纵向设有空腔，所述惯性质量块设置在所述硅基底的空腔内；所述悬臂梁为蛇型蜿蜒结构，且包含有多根，每根所述悬臂梁的两端分别与所述惯性质量块和所述硅基底空腔的内壁连接；所述玻璃衬底的外沿与所述硅基底的外沿固定连接且，所述玻璃衬底的腔体与所述硅基底的空腔连通。该方案不仅有高的加速度‑位移灵敏度和测量精度，同时极大地抑制了交叉轴串扰的影响和便于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交叉 轴串扰 敏感 结构 | ||
【主权项】：
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