[实用新型]一种氯硅烷纯化系统的装置有效
| 申请号： | 202022648732.5 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213623299U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;张宇;王国锋;苏国良;王乃治 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种氯硅烷纯化系统的装置；包括汽化器、过热器、吸附塔、冷凝器、CPS液相产品储罐和CPS产品泵；汽化器设置一出料管路连接过热器；过热器设置一出料管路连接吸附塔底部；吸附塔顶部设置一出料管，出料管中气体部分作为CPS气相产品，部分通过管路连接冷凝器；冷凝器通过管路连接CPS液相产品储罐；CPS产品泵通过管路连接CPS液相产品储罐，将CPS液相产品抽出。CPS气相或液相产品经简单脱重精馏获得几乎不含硼、磷、金属、碳痕量杂质的高纯氯硅烷产品。利用化学络合吸附对氯硅烷进行纯化，杂质含量最终降低至0.05ppb以下；利用纯化后的氯硅烷制备高纯多晶硅，硼、磷杂质均可降至10ppt以下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 纯化 系统 装置 | ||
【主权项】：
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