[实用新型]一种反应腔装置有效
| 申请号： | 202022651965.0 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN213583693U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;孙晓东 | 申请（专利权）人： | 上海谙邦半导体设备有限公司;上海讯颖电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种反应腔装置，包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体内的晶圆夹持平台，所述晶圆夹持平台的表面适于放置晶圆；贯穿所述晶圆夹持平台的若干位移孔；分别位于所述位移孔中的顶针，所述顶针的顶头设置有测温探头，所述顶针适于在所述位移孔中往复移动，使所述顶针的顶头在高于所述晶圆夹持平台的上表面的位置至低于所述晶圆夹持平台的上表面的位置之间变化。所述反应腔装置能够对H |
||
| 搜索关键词： | 一种 反应 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海谙邦半导体设备有限公司;上海讯颖电子科技有限公司，未经上海谙邦半导体设备有限公司;上海讯颖电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022651965.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种变角机构
- 下一篇：一种显示器的支撑结构
