[实用新型]一种晶圆片显影机的定位机构有效
| 申请号： | 202022655065.3 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN213622224U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 丁波;李轶;陈瀚;赵耀;陈登奎;杭海燕 | 申请（专利权）人： | 上海微世半导体有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 张坚 |
| 地址： | 201401 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆片显影机的定位机构，包括上料机构、下料机构以及位于所述上料机构和下料机构间的能够进行升降的旋转吸头，所述上料机构能够将晶圆片转移至所述旋转吸头上，所述下料机构能够取走位于所述旋转吸头上的晶圆片，还包括位于所述旋转吸头两侧的对位装置，所述对位装置包括两个能够相向移动的对中卡爪，所述对中卡爪的内侧具有适配所述晶圆片边缘的顶块。通过设置对位装置对位于旋转吸头上的晶圆片进行对中,使晶圆片与旋转吸头保持同心，这样晶圆片在旋转时就不会产生偏心力矩，使显影液能够被均匀的喷涂于晶圆片上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 显影 定位 机构 | ||
【主权项】：
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