[实用新型]一种智能真空压力传感装置

摘要

本实用新型提供了一种智能真空压力传感装置，包括耦接的一体测量模块和实时测控模块，一体测量模块的输入端采集真空系统的压力和温度，用于将压力和温度分别转换为电信号，并将电信号按照分级放大输出至实时测控模块；实时测控模块对输入的电信号进行A/D转换，并基于输入的温度，对压力进行温度补偿，并将补偿后的压力输出用于外部显示，以及基于压力值输出用于控制外部开关的开关信号和用于外部通信的通讯信号，本实用新型的智能真空压力传感装置，可实现将采集的压力和温度的小信号放大整形输出，实现了用一个传感器覆盖全量程的压力测量要求，并基于采集的温度对压力进行温度和漂移实时补偿，保证了实时压力测量的精确度和准确性。