[实用新型]一种液晶面板蚀刻机有效
申请号: | 202022685227.8 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN214011678U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 陈聪;程辉 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;徐剑兵 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种液晶面板蚀刻机,包括:蚀刻腔体、TMP孔以及TMP孔护圈;所述TMP孔位于所述蚀刻腔体上,所述TMP孔护圈与所述TMP孔的大小相适配,所述TMP孔护圈嵌设在所述TMP孔内,用于保护所述TMP孔。在本申请中,通过所述TMP孔护圈保护所述TMP孔,防止所述TMP孔侧壁及其周围部件在等离子轰击过程中产生较多的黑色生成物,从而影响玻璃基板的质量,同时所述TMP孔护圈还可以节省人员成本,使操作员不需要定期的清理蚀刻机,所述TMP孔护圈的设置可以有效提高蚀刻机的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 液晶面板 蚀刻 | ||
【主权项】:
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