[实用新型]一种单晶炉下氩气双向喷射的喷头有效
申请号: | 202022699829.9 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN213570821U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 闫斌;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种单晶炉下氩气双向喷射的喷头,设置于阀仓和炉盖配合处,包括法兰、氩气进气管及氩气排气管,氩气排气管设置于法兰的内壁围成一个圆环形,氩气进气管穿透法兰的一端与氩气排气管连通,其中:氩气排气管分为半圆环形的加工区和半圆环形的未加工区,加工区和未加工区对称划分,未加工区的氩气排气管为实心管,加工区的氩气排气管为空心管路,氩气排气管上加工区和未加工区的交界处分别设有氩气出口,该喷头结构简单,互换性好,便于清理,改变了氩气喷射方式,两路氩气对冲式喷射,增大了氩气喷射范围,增加了氩气均匀分布,快速有效的带走氧化物。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉下氩气 双向 喷射 喷头 | ||
【主权项】:
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