[实用新型]一种涂胶机目检区防护装置有效
| 申请号： | 202022706258.7 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN214077615U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 赵原;刘明群 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B05C15/00 | 分类号： | B05C15/00;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体制造领域内的一种涂胶机目检区防护装置，包括设置在两个机台模组之间的导向组件，导向组件上方对应设有目检显微镜，所述导向组件包括两根导轨条，料带位于两根导轨条之间，每根所述导轨条上侧均设置有两组支撑调节组件，支撑调节组件包括底座，底座上设置有固定条板，固定条板上开设有腰形调节槽，可动条板上开设有螺栓孔，固定条板和可动条板通过紧固件相固定，可动条板顶部设置有支撑座，各支撑座上水平放置有防护罩，防护罩包括顶部罩板，顶部罩板的左右两侧均一体设置有竖直向下延伸的侧挡罩板。本实用新型能够避免显微镜移动摩擦产生的金属颗粒落在下方的料带产品上，不会对料带产品上的IC造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 机目检区 防护 装置 | ||
【主权项】：
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