[实用新型]一种转盘式上料机构

摘要

本实用新型公开了一种转盘式上料机构，包括旋转盘、转盘驱动电机，所述转盘驱动电机通过传动装置与旋转盘连接，用于驱动旋转盘转动，所述旋转盘的外侧对称设有四个载料治具；所述载料治具用于装载芯片；所述四个载料治具对应位置设置进料工位、出料工位、监测工位和备用工位；所述出料工位位于进料工位后；所述监测工位位于进料工位前。本申请的转盘式上料机构能够加快送料，用于连接芯片制造上下游设备，可以将上下游芯片制造设备设计的更紧凑，减少占地空间，并且，进料工位和出料工位同时放料和取料，提高了设备运行效率。并设计负压防止掉料。