[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202022714235.0 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN213803960U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;高永喜;虞强龙;陈奇;朱宏伟;张敬娣;武启飞;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀装置。其中蒸镀装置包括腔体、第一源挡板和第二源挡板，腔体内设置有多个坩埚及设置在各坩埚一侧的膜厚探头，各坩埚和待蒸镀的基片之间形成蒸镀通道，坩埚与膜厚探头之间形成检测通道；第一源挡板设置于坩埚和基片之间，能选择性遮挡蒸镀通道；第二源挡板设置于坩埚和膜厚探头之间，能选择性遮挡检测通道及蒸镀通道。本实用新型设置有多个坩埚，可以在一个坩埚进行蒸镀时对另一个坩埚进行预热，以实现连续蒸镀；第一源挡板可以在一个坩埚进行蒸镀的同时，遮挡住另外的坩埚与基片之间的蒸镀通道，有效地避免坩埚内的蒸镀材料在预蒸至蒸镀速率时外溢出坩埚，保证了蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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