[实用新型]连续直拉单晶生长设备有效
| 申请号： | 202022730358.3 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN213951412U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 廖思涵;李依晴 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;付艳红 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于连续直拉单晶生长设备，包括有坩埚、进料模块、旋转轴、隔热模块及加热模块，所述旋转轴具有一轴线，所述旋转轴带动所述坩埚以所述轴线为轴心旋转；所述隔热模块包含第一隔热层及第二隔热层，所述第一隔热层在所述轴线方向上具有一第一厚度，所述第二隔热层在所述轴线方向上具有一第二厚度，所述坩埚设置于所述第一隔热层与所述第二隔热层之间，在所述轴线方向上所述第一隔热层至所述第二隔热层间隔一最小距离，所述最小距离与所述第一厚度之距离比为1：0.2至1：0.35之间，所述最小距离与所述第二厚度之距离比为1：0.6至1：0.75之间；所述加热模块设置于所述坩埚与所述隔热模块之间。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 直拉单晶 生长 设备 | ||
【主权项】：
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