[实用新型]一种新型集成定位支撑光罩盒

摘要

本实用新型涉及光罩盒使用的技术领域，尤其涉及一种新型集成定位支撑光罩盒；光罩盒主体，为盒体结构，分为上盖体和下盒体两部分；所述上盖体和所述下盒体之间设置有放置腔；掩膜版，设置在所述放置腔内；定位支撑机构，对所述掩膜版进行定位和支撑；所述定位支撑机构包括支撑顶和底座；所述底座为L型结构，两垂直边之间连接有固定杆；所述支撑顶上设置有接口槽；所述接口槽对所述掩膜版的边角进行支撑。本实用新型的目的就是针对现有技术中存在的缺陷提供一种新型集成定位支撑光罩盒，采用支撑顶和底座配合，对掩膜版进行缓冲支撑，减少了与掩膜版的接触面积，更好的保护掩膜版不受摩擦带来的静电及颗粒的影响。