[实用新型]工件架旋转系统以及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202022734930.3 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN214032679U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李刘合;毛迎东;孙玉强;寇淑文 | 申请（专利权）人： | 北航歌尔（潍坊）智能机器人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道玉*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、公转盘、自转盘、传动结构、制动结构和驱动结构，所述自转盘设有自转轴且绕着所述自转轴转动安装于所述公转盘上，以能够随同所述公转盘转动，传动结构包括传动轴和齿轮传动机构，所述传动轴和所述公转轴相互套接且转动设置，所述齿轮传动机构包括大齿轮和小齿轮，所述制动结构能够选择性地限制所述传动轴或所述公转轴转动，所述驱动结构能够选择性地驱动所述传动轴和/或所述公转轴，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程，以解决现有技术的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 旋转 系统 以及 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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