[实用新型]一种高灵敏度霍尔元件有效
申请号: | 202022748350.X | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN213692095U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 胡双元 | 申请(专利权)人: | 苏州矩阵光电有限公司 |
主分类号: | H01L43/04 | 分类号: | H01L43/04;H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张乐乐 |
地址: | 215614 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种高灵敏度霍尔元件,旨在解决现有技术中砷化镓霍尔元件灵敏度偏低的问题,其技术要点在于包括依次层叠设置的衬底、功能层、磁性层和位于所述功能层各个角的金属电极,磁性层位于所述功能层远离所述衬底一侧表面的中心紧贴设置。本实用新型通过磁性层的作用,使得在磁场中,通过霍尔元件功能区的磁力线密度大幅增加,放大外界磁感应强度,从而同步提升霍尔元件的灵敏度,并且不增加工艺复杂性和成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 灵敏度 霍尔 元件 | ||
【主权项】:
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