[实用新型]一种复合镀膜装置有效
| 申请号： | 202022752385.0 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214361671U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 冯森;蹤雪梅;何冰 | 申请（专利权）人： | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/16 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 刘艳艳 |
| 地址： | 221004 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合镀膜装置，包括真空室和位于真空室内的工件转架，真空室内集成有离子束源、脉冲电弧离子源和磁过滤电弧离子源；离子束源用于清洗工件或者辅助沉积；脉冲电弧离子源用于激发石墨靶材，产生碳离子，沉积Ta‑C碳膜；磁过滤电弧离子源用于激发金属靶材，产生金属离子，沉积金属薄膜、合金薄膜或化合物薄膜。本装置将离子束技术、磁过滤离子镀与脉冲离子镀三种技术集成于一个真空室，提供多种镀膜方式，实现多功能性和结构性先进薄膜制备，具有功能丰富、扩展性强的特点，适用于开展科学研究及工业领域多样性生产。尤其利用该装置可高效率制备低应力、高结合强度、结构与性能可调控的Ta‑C碳膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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