[实用新型]一种可检测微小位移及微小力的装置有效
申请号: | 202022767066.7 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN213933446U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 路东辉;赵宏宇;翟彬 | 申请(专利权)人: | 长春因赛图精密仪器设备有限公司 |
主分类号: | G01N3/42 | 分类号: | G01N3/42;G01N3/02;G01B7/02 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 刘小娇 |
地址: | 130000 吉林省长春市北湖科技开发区*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型属于机械性能精密测量检测仪器技术领域,具体公开了一种可检测微小位移及微小力的装置,包括压尖、外框和连杆,所述外框的内部固定连接有内框,且内框的前端上方固定连接有柔性铰链。该可检测微小位移及微小力的装置,与现有的普通检测装置相比,为纳米压痕仪提供了一种纳米级测量加载单元,此单元结构紧凑,减少了中间环节,电容式力传感器直接连接压头,力值信息传递块,减少初始压尖与试样接触瞬间位移损失,进而提高了位移测量精度与力测量精度,提高了纳米级压痕测量原始数据精度,由于本机柔性铰链与外框为一体式结构,更增加了整机刚性,因此减少了安装间隙对柔度的影响,因此更进一步提高了测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 微小 位移 装置 | ||
【主权项】:
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