[实用新型]一种硒化氢气体在线混配系统有效
申请号: | 202022774127.2 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN214020540U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 张华芹;丁宇旺;宋子明;李文艳 | 申请(专利权)人: | 上海韵申新能源科技有限公司 |
主分类号: | B01F13/10 | 分类号: | B01F13/10;B01F3/02;B01F15/02;B01F15/00 |
代理公司: | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人: | 谢小军 |
地址: | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硒化氢气体在线混配系统,所述硒化氢气体在线混配系统包括供气柜、设置在供气柜侧面的负压通道、设置在供气柜内的至少两个混料罐,所述混料罐的进气端连通有硒化氢进气管与混料气体进气管,混料罐的出气端连通有混合气体出气管与吹扫气体管道,硒化氢进气管、混合气体出气管、功能管道与混料气体进气管上均设置有启闭管道的手动启闭阀,功能管道上设置有废气真空发生器,废气真空发生器两端分别连通有废气管道和吹扫气体管道,废气管道上设置有废气启闭阀并在废气启闭阀后通过管道与相邻混料罐的功能管道相连通。通过混合气体出气管和吹扫气体管道的相互配合能够达到有效防止硒化氢泄漏、安全性高的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 氢气 在线 系统 | ||
【主权项】:
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