[实用新型]一种一体式陶瓷机械手臂

摘要

本实用新型涉及机械臂技术领域，具体涉及一种一体式陶瓷机械手臂，包括固定臂、吸附臂和夹持臂，所述固定臂和夹持臂之间固定连接有吸附臂。本实用新型中，通过将吸附臂和顶部固定有固定臂，且于吸附臂的底部固定有夹持臂，并且固定臂和夹持臂的卡合板能在传输晶圆时能够提供较好的卡接效果，通过于吸附臂上开设有通气槽一和两个通气槽二，从而能通过对输气管进行抽取空气来提高三个吸附口的真空吸附能力，又通过于吸附臂的弧形外壁上固定连接有缓冲棉垫能降低晶圆外壁出现痕迹的几率，同时也能利用夹持臂上的弧形抵触板对晶圆进行抵触固定，进一步加强了设备的稳定性，避免了不必要的损失。