[实用新型]一种光刻机用混合光源发生装置有效
| 申请号： | 202022800515.3 | 申请日： | 2020-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN213581735U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王华;吴中海;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机用混合光源发生装置，包括激光源、LED光源组件、激光限位板、光源基座和底座，所述激光限位板、光源基座和底座从上到下顺序排列；所述光源基座的中心设有激光源安装位，所述光源基座上还设有围绕所述激光源安装位分布的LED光源安装位，所述激光源的一端贯穿所述激光限位板，另一端安装在所述激光源安装位上；所述LED光源组件安装在所述LED光源安装位上；所述底座与光源基座连接形成一空腔，所述底座上设有出光口；其中，所述激光源与所述出光口位于同一轴线上。本实用新型中，激光源作为主光源，LED光源作为辅助光源，当激光源的能量因衰减而达不到预期能量时，LED光源对其进行补偿，有效地提高了光刻机的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 混合 光源 发生 装置 | ||
【主权项】：
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