[实用新型]一种便于清洁的正压型晶圆电镀挂具有效
| 申请号： | 202022820886.8 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216006066U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 吕正刚 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种便于清洁的正压型晶圆电镀挂具，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在凹腔上扣合固定有密封背板，密封背板的内侧面对应于凹腔的形状设置有凸块，密封背板的外侧边沿搭靠于挂具基板的表面，在挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，锁紧臂可绕锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴密封背板的外侧面，其中，锁紧臂沿锁紧凸轮的凸轮轮廓行至下限位时锁紧臂下表面与挂具基板的表面保有间隙。本申请操作方便，能够在提高生产加工效率的同时提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响，还能够避免药液等在挂具中过分残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 清洁 正压 型晶圆 电镀 | ||
【主权项】：
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