[实用新型]蒸发镀膜机及波分复用器件有效
| 申请号： | 202022826034.X | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN213803961U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李鑫;王之琦;龚渤 | 申请（专利权）人： | 江苏永鼎光电子技术有限公司;江苏永鼎股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;G01B11/06 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 马小慧 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发镀膜机及波分复用器件，包括镀膜腔室；白光直接测量模组，其以白光为光源在线测量薄膜的厚度；激光直接测量模组，其以激光为光源在线测量薄膜的厚度；所述白光直接测量模组和激光直接测量模组的其中之一安装在所述镀膜腔室内。本实用新型的蒸发镀膜机及波分复用器件，通过更换使用白光直接测量模组或者激光直接测量模组可以满足多种测试需求：在测量精度要求较低、而要求测量效率较高（比如，批量化生产薄膜）时，使用白光直接测量模组；在测量精度要求较高、而要求测量效率较低（比如，研发阶段、小批量阶段生产薄膜）时，使用激光直接测量模组。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 波分复用 器件 | ||
【主权项】：
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