[实用新型]对位图像采集装置及曝光设备

摘要

本申请提供了一种对位图像采集装置及曝光设备。本申请提供的对位图像采集装置包括第一光路和第二光路，第一光路用于采集掩膜板上的第一图形，第二光路用于采集阵列基板上的第二图形，第一光路包括第一光源、第一光学镜片组和第一图像采集单元，第二光路包括第二光源和第二图像采集单元，第一光学镜片组包括多个反射镜片，第一光学镜片组位于第一光源和第一图像采集单元之间，且第一光学镜片组中的至少部分反射镜片位于第二光源和第二图像采集单元之间，以使第二光路与第一光路至少部分重合。本申请提供的对位图像采集装置可以保证阵列基板与掩膜板的相对位置精度，提高在后续的光刻工艺过程中形成的膜层图形的精度。