[实用新型]一种两悬梁MEMS阵列式陶瓷悬梁微热板有效
| 申请号： | 202022854811.1 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN214192568U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 井华;谷文;陈红林 | 申请（专利权）人： | 苏州麦茂思传感技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;H05B3/14;H05B3/18 |
| 代理公司： | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人： | 侯慧娜 |
| 地址： | 215168 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种两悬梁MEMS阵列式陶瓷悬梁微热板。包括单晶硅衬底、陶瓷悬梁层、加热层及其电极端、绝缘层、测试层及其电极端，陶瓷悬梁层，通过印刷、烘干、煅烧在所述单晶硅衬底上，陶瓷悬梁层中间印刷为阵列式I形支撑悬梁，I形支撑悬梁的中心交叉部形成功能区，阵列式的每个功能区用于制备加热层、绝缘层和测试层，后期再测试层上涂覆敏感材料，即可形成多个功能模块。本实用新型通过阵列式，实现混合气体的检测，并且采用具有更低导热系数和更坚硬的陶瓷材料作为MEMS微热板的悬梁结构，比传统的开隔热槽单晶硅悬梁微热板而言，隔热效果显著，整体结构更可靠，而且通过陶瓷悬梁有效能够降低自身功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬梁 mems 阵列 陶瓷 微热板 | ||
【主权项】：
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