[实用新型]上料模组与真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202022858890.3 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN214458283U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 余仲;李时俊;王志民;谢进学 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种上料模组与真空镀膜设备，上料模组用于将靶材补入容器，包括基座、密封装置与推动装置，基座具有第一腔体与第二腔体，第一腔体在基座上形成第一开口，第一开口用于连通容器的内腔，第二腔体在基座上形成第二开口，第二开口用于靶材进入第二腔体；密封装置连接于基座，并能够相对基座移动，以打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处；推动装置连接于基座，并能够相对基座移动，以在第一腔体与第二腔体的连接处处于打开状态时，推动第二腔体内的靶材向第一开口的方向移动。上述的上料模组结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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