[实用新型]一种硅片碱腐蚀翻新循环一体化装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片碱腐蚀翻新循环一体化装置，包括用于对硅片进行碱腐蚀的碱溶液腐蚀槽、用于添加翻新剂的碱翻新反应槽以及用于去除沉淀物的沉淀过滤槽，所述碱溶液腐蚀槽与碱翻新反应槽单向连接，将待翻新的碱溶液输送至碱翻新反应槽，同时所述碱翻新反应槽中的碱溶液完成翻新反应后，通过沉淀过滤槽与所述碱溶液腐蚀槽连接，实现对硅片碱腐蚀时的碱溶液翻新循环；本实用新型结构简单，实施成本低，有力改善了硅片碱腐蚀的工作环境，而且可有效节约硅片碱腐蚀的工艺成本、提高持续腐蚀的能力以及腐蚀工艺的一致性。