[实用新型]用于支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块有效
| 申请号： | 202022887216.8 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN216688306U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 莱内尔·欣特舒斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于支撑基板载体的设备、一种基板载体以及一种基板装载模块。所述设备包括载体锁定机构(140)，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体(210)，所述基板载体在所述设备处以竖直取向布置并且所述载体锁定机构包括主体(145)和接合所述载体的所述一侧的可移动的紧固装置(142)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 载体 设备 以及 装载 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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