[实用新型]一种晶圆检测装置有效
| 申请号： | 202022903898.7 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN213580730U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 叶明明 | 申请（专利权）人： | 深圳市超导半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 郝艳平 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆检测装置，特别涉及晶圆生产的技术领域，包括晶圆放置台和底盘，所述放置台和底盘转动连接，所述底盘位于晶圆放置台的正下方，所述晶圆放置台的上方设置有线性红外射灯，所述晶圆放置台的上方还设置有穿透膜组件，所述穿透膜组件和线性红外射灯均采用支撑架与底盘侧壁固定，本实用新型具有更加快速判定晶圆表面缺陷多少的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】：
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