[实用新型]一种光刻板清洗机用除胶滤网有效
申请号: | 202022928280.6 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN213856015U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 赵峰 | 申请(专利权)人: | 恩士力半导体无锡有限公司 |
主分类号: | B08B3/06 | 分类号: | B08B3/06;B08B1/04;B01D29/35;B01D29/64 |
代理公司: | 无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468 | 代理人: | 张涛 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光刻板清洗机用除胶滤网,包括:支撑座,所述支撑座为圆形设置;滤网主体,所述滤网主体位于支撑座的上方,所述滤网主体的底部与支撑座的上方进行固定连接;顶板,所述顶板位于滤网主体的顶部,所述顶板内开设有进料口;刮料结构,所述刮料结构位于滤网主体的内部,所述刮料结构包括转动电机、转轴、支撑杆和刮板。本实用新型在清洗完成后,通过转动电机能够带动转轴转动,从而带动两个刮板转动,可以将滤网主体内壁上粘着的凝胶刮掉,便于对滤网主体内壁上的凝胶进行清理,可以维持滤网主体的洁净,结构简单且便于使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 刻板 清洗 滤网 | ||
【主权项】:
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