[实用新型]压力控制系统与反应炉

摘要

本实用新型公开了一种压力控制系统与反应炉，压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀，反应室具有第一开口；冷却装置与第一开口连通，用于对从第一开口流出的气体进行冷却，冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；抽气装置与第二开口连通，用于调节反应室内的气压；第一控制阀连接于第二开口，用于控制第二开口的开闭；第二控制阀连接于第三开口，用于控制第三开口的开闭。上述压力控制系统的结构简单，易于实现。