[实用新型]LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置有效
| 申请号： | 202022944939.7 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN214441420U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 易晶晶;张艳红;林德肖 | 申请（专利权）人： | 云南蓝晶科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B5/02;F26B21/00;F26B25/06;B01D46/10 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 陈康 |
| 地址： | 653100*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置，机体右端设置有清洗入口；机体内由右至左依次设置有除尘仓、清洗仓和烘干仓；仓室间设置有仓板隔开；仓板上部设置有开口；除尘仓内上部两侧仓壁上对向设置有除尘出风口；清洗仓内设置有超声波清洗池；烘干仓顶部设置有烘干出风口；烘干出风口连接热风进风管；热风进风管上设置有风机A；风机A另一端连接进风口；机体顶部设置有传送带；传送带上设置有挂钩座；挂钩座底部设置有拉杆；拉杆连接晶片固定栏；拉杆为伸缩结构设置；机体右端设置有清洗出口，解决的晶片衬底清洗效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | led 节能型 蓝宝石 晶片 衬底 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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