[实用新型]激光合束装置及具有其的曝光镜头、直写式曝光装置有效
| 申请号： | 202022978408.X | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN213545034U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 龚田;雎鹏;马云云 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种激光合束装置及具有其的曝光镜头、直写式曝光装置，激光合束装置包括固定单元、合束单元、脉冲激光器及光纤激光器，固定单元包括第一、第二输入接口及第一、第二输出端；合束单元位于输出端的出光路径上；脉冲激光器配接至第一输入接口并输出第一光束；光纤激光器配接至第二输入接口并输出第二光束；合束单元包括光学镜片及光积分器，光学镜片的第一光轴、第一光束的第一中心轴及第二光束的第二中心轴相互平行，第一、第二光束直接依次经过光学镜片及光积分器，且光积分器进行合束处理。本实用新型的激光合束装置可省略滤光片的使用，降低了制作难度，提高了效率，且避免了脉冲激光器使用光纤传输，可大大降低合束损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 束装 具有 曝光 镜头 直写式 装置 | ||
【主权项】：
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