[实用新型]改善生产品质的预热平台结构有效

专利信息
申请号: 202022979856.1 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN213519892U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 郑俊;蔡丹纯 申请(专利权)人: 东莞高伟光学电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/60
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种改善生产品质的预热平台结构,其设置于芯片倒装机的机架上并位于进料轨道的下方,包括有加热底座、升降机构以及预热平台;该加热底座可上下升降活动地设置,加热底座上设置有加热棒;该升降机构设置于机架上并带动加热底座上下升降活动;该预热平台与加热底座贴合并随加热底座上下升降活动,预热平台的表面凸设有多个凸台。通过利用升降机构带动加热底座上下升降活动,使得预热平台随加热底座上下升降活动,利用预热平台上的凸台可对进入键合工作加热台以前给基板加热,改善了未能达到理想键合温度的问题,有利于提高芯片倒装键合工艺的质量,提升产品的质量。
搜索关键词: 改善 生产 品质 预热 平台 结构
【主权项】:
暂无信息
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