[实用新型]检测装置以及激光等离子光源有效
| 申请号： | 202022984409.5 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN214121411U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 郑睿;肖鹏;谢庆国;钟胜;王卫东;唐江;褚倩;白翔 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞派宁科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01J1/42;H01S3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种检测装置以及激光等离子光源，检测装置包括探测器和控制器，探测器设置于激光等离子光源的真空室内，控制器与探测器连接并接收探测器所获取的反馈信号，控制器根据反馈信号判断激光等离子光源的发光情况；激光等离子光源包括该检测装置，该检测装置通过探测器获取反馈信号；通过控制器判断反馈信号是否大于预设的调节阈值，控制器向驱动器发出调节指令，调节反射镜的角度或位置。本申请提供的检测装置、激光等离子光源，可以检测出激光束与靶材的作用情况，从而方便实时掌握或者调节激光等离子光源的发光情况，还可以根据实际需要方便的调节激光等离子光源的发光情况。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 以及 激光 等离子 光源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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