[实用新型]一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构有效

专利信息
申请号: 202022985912.2 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN213977864U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 郑亮;李鸿飞 申请(专利权)人: 江苏特丽亮镀膜科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/56
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 张悦
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种气相沉积镀膜用上下料挂具机构;其特征在于:包括框体、挂载零件的立杆、包裹所述框体的防尘罩、固定所述防尘罩的固定机构、移动所述框体的脚轮和支撑所述框体的支撑机构;所述立杆并列设置在所述框体内;所述框体上所述防尘罩的一侧开口;所述固定机构围绕所述框体并列设置;所述支撑机构设置在所述脚轮上;所述框体设置在所述支撑机构上。解决了现有方案造成的采用立柱支架挂置零件时,零件表面会附着杂质,导致镀膜质量较低等问题。
搜索关键词: 一种 沉积 镀膜 用上 下料挂具 机构
【主权项】:
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