[实用新型]一种抗光衰机台温控系统有效

专利信息
申请号: 202023000800.3 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN213984236U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 宋严成;陈国彬 申请(专利权)人: 苏州诺赛金电子机械有限公司
主分类号: F25D31/00 分类号: F25D31/00;F25D17/06;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及抗光衰机台技术领域,尤其涉及一种抗光衰机台温控系统,解决现有技术中存在的缺点,包括箱体、制冷机、相对设置在箱体内部的上加热板和下加热板以及设置在上加热板和下加热板之间的载片盒,上加热板和下加热板和内部均安装有加热电阻丝,所述箱体的两侧分别开设有进风口和出风口,所述进风口上固定连接有进气管,进气管的内部安装有风机,所述箱体的内壁一侧通过螺钉固定有相对设置的支架,且导流板位于进风口的一侧;通过支架、导流板、往复调节机构等结构的设置,进风口的冷风吹去机台内部后,通过导流板可引导进风角度不断改变,从而能够将冷风均匀地送入机台内部,提升了冷却的效果。
搜索关键词: 一种 抗光衰 机台 温控 系统
【主权项】:
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