[实用新型]一种硅片刷油机构有效
| 申请号： | 202023007902.8 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN214917606U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 林生财;胡耿涛;刘振辉;王胜利 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种硅片刷油机构，用于对硅片表面涂覆氟油，所述硅片刷油机构包括，喷油嘴，用于对硅片表面喷氟油；涂覆部，用于与硅片接触并将氟油涂覆于硅片表面；连接于涂覆部的运动部，所述运动部用于驱动涂覆部在硅片表面运动，使氟油涂覆于硅片表面；线性驱动部，连接于运动部，所述线性驱动部用于控制涂覆部远离/抵靠硅片；使氟油涂覆于硅片表面，使硅片的测试位置与空气隔开，减少针尖打火，影响硅片测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 油机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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