[实用新型]一种低功耗MEMS氢气传感器有效
| 申请号： | 202023008094.7 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN214041233U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 马可贞;沈方平;徐晓苗;吴楠 | 申请（专利权）人： | 苏州芯镁信电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/16 | 分类号： | G01N27/16 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 徐婧 |
| 地址： | 215128 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种低功耗MEMS氢气传感器，包括衬底层、下绝缘层、金属丝层和上绝缘层；衬底层表面开隔热槽，下绝缘层覆盖于衬底层上，下绝缘层设有与隔热槽对应的镂空窗口；金属丝层包括贵金属材质的第一金属丝和第二金属丝，第一金属丝为用作敏感单元的裸金属丝，第二金属丝为用作参比单元的、包裹有钝化层的金属丝；该第一金属丝和第二金属丝的两端均设有用于引出信号的焊盘，焊盘固定于下绝缘层与上绝缘层之间；第一金属丝和第二金属丝的中部均设有悬置于隔热槽上方的感测部；上绝缘层覆盖于金属丝层上。本实用新型可解决带支撑结构的低功耗氢气传感器导热损耗大，以及金属材料跟支撑材料间的热失配而损坏结构的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功耗 mems 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州芯镁信电子科技有限公司，未经苏州芯镁信电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023008094.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
