[实用新型]一种PLASMA自动清洁机构有效
| 申请号： | 202023044959.5 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213968028U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 尹辉;矫德君 | 申请（专利权）人： | 深圳市凯士特科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 秦佩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及清洗设备的技术领域，特别是涉及一种PLASMA自动清洁机构，其便于控制超纯水与piranha化学试剂混合的比例，避免了等离子体过渡清洗或难以清洗完全，提高了装置的清洗效果；包括清洗主体、隔板、气管、三通管、两组储液箱、多组直角固定板、两组注液管、两组第一转动轴、两组转动把手、两组第一锥齿轮、两组第二锥齿轮、两组螺管、两组螺杆和两组压板，清洗主体的内部设置有腔室，底端设置有多组支腿，隔板固定在清洗主体腔室上部，并且隔板的右侧设置有出气孔，气管与清洗主体的左端连通，并且气管的一端穿过隔板，三通管的一端与清洗主体的右端连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 plasma 自动 清洁 机构 | ||
【主权项】：
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