[实用新型]一种光刻胶喷头清洁装置有效
| 申请号： | 202023046584.6 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN214077445U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈付磊;丁建峰;于玉斋;王刚;潘晓忠;姚志炎 | 申请（专利权）人： | 徐州美兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/555 | 分类号： | B05B15/555 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 何君 |
| 地址： | 221000 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光刻胶喷头清洁装置，包括光刻胶喷头、控制器、与光刻胶喷头连接的机械臂、设置在光刻胶喷头侧面的清洁喷头，机械臂、光刻胶喷头和清洁喷头分别与控制器连接；机械臂用于控制光刻胶喷头移动至清洁位置，当光刻胶喷头移动到位时，清洁喷头对光刻胶喷头进行喷液清洗，该清洁位置上设有与清洁喷头配合的废液回收槽，废液回收槽的下端设有废液回收管路。本实用新型可实现自动清洁喷嘴功能，避免人员接触丙酮，降低员工作业风险，在保证清洁效果的前提下，合理控制清洁溶液用量，从而降低生产成本；另外，常规清洁方式需要设备停止停机作业，而本实用新型的光刻胶喷头清洁装置，可减少设备停机时间，提高设备生产效率，提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 喷头 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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