[实用新型]一种半导体用的特殊气体防漏式存储装置有效
申请号: | 202023071126.8 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN214119661U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 唐蓉;吴汉涛;孙珏 | 申请(专利权)人: | 无锡恒大电子科技有限公司 |
主分类号: | F17C1/00 | 分类号: | F17C1/00;F17C13/00;F17C13/04;F17C13/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市建*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及气体储存装置技术领域,且公开了一种半导体用的特殊气体防漏式存储装置,包括气体储存罐,所述气体储存罐的外表面开设有观察窗,所述观察窗的一侧固定安装有刻度表,所述刻度表的顶部粘接安装有位于气体储存罐顶部的第一橡胶圈,装置均采用双重密封设计,气体储存罐灌口设有第一橡胶圈使其在与储存罐盖闭合时进行第一次密封处理,通过旋转储存罐旋转把手将密封盘上升至气体储存罐和储存罐盖闭合处,由于密封盘和第二橡胶圈相加直径略大于气体储存罐的直径使其具有良好的密封性能,且装置的注气管和出气管均设有两处阀门极大的提升了装置的密封性能,装置密封设计巧妙均可通过旋转达到密封效果,无需专业人员即可进行操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 特殊 气体 防漏 存储 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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