[实用新型]一种用于晶圆切割环加工的烘烤装置

摘要

本实用新型涉及一种用于晶圆切割环加工的烘烤装置，包括机体，加热装置和输送装置，所述输送装置设置在机体内，机体设有开口端，输送装置一端位于开口端外部，所述加热装置设置在输送装置上方，加热装置包括反射组件和光源，两组反射组件相对设置，光源设置在反射组件之间，反射组件包括反射板和固定部，反射板设置在固定部上，所述固定部中设有气流通道，固定部的上表面设有通孔，通孔与气流通道连通。本实用新型的一种用于晶圆切割环加工的烘烤装置能够实现晶圆切割环的自动化输入输出，能够减少工序，提升加工效率；此文，能够提升烘烤温度和效果，提升加热单元的散热效果。