[实用新型]背极板结构、MEMS传感器和电子设备有效
| 申请号： | 202023090937.2 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN213694153U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘松;周宗燐;邱冠勋 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种背极板结构、MEMS传感器和电子设备。其中，该背极板结构包括：第一绝缘层；导电层，所述导电层覆盖于所述第一绝缘层的表面，所述导电层面向所述第一绝缘层的一侧设有凸起结构，所述凸起结构穿设于所述第一绝缘层；以及第二绝缘层，所述第二绝缘层覆盖于所述导电层背对所述第一绝缘层的一侧。本实用新型技术方案的背极板结构能够避免出现导电层短路、失效的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 极板 结构 mems 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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