[实用新型]一种三氯氢硅废气净化处理装置有效
| 申请号： | 202023093250.4 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214513752U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 彭日宇;付瑞琦 | 申请（专利权）人： | 四川雅吉芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/79 | 分类号： | B01D53/79;B01D53/68;B01D53/04 |
| 代理公司： | 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 | 代理人： | 余哲玮 |
| 地址： | 625000 四川省雅安市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种三氯氢硅废气净化处理装置。所述三氯氢硅废气净化处理装置，包括：第一净化仓，所述第一净化仓的底部固定连接有转接箱，所述转接箱的底部固定连接有注入管，所述注入管的顶端且位于转接箱的内部固定连接有弹性拉伸管，所述转接箱的内部固定连接有第一微型电机，所述微型电机与转接箱内部的转轴外部传动连接有第一传动带。本实用新型提供的三氯氢硅废气净化处理装置通过转接管在第一净化仓与第二净化仓的注入口处，可以进行移动选择，当其中一个净化仓发生故障时，可以连接到另外一个净化仓进行净化处理，并且不影响故障净化仓的维修，通过化学反应使得废气能够排放，保护了工作人员的身体健康。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 废气 净化 处理 装置 | ||
【主权项】：
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