[实用新型]甩干机清洗装置有效
| 申请号： | 202023093457.1 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN213781996U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 郑东;肖迪 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/02 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 赵伟敏 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于半导体晶片加工技术领域，涉及甩干机清洗装置。该装置包括甩干机机体，甩干机机体内部设置有向上开口的甩干腔，甩干腔的内部设置有转筒，甩干腔底部设有与外界连通的排污口，所述甩干机机体顶部设置有顶梁，甩干机机体底部设置有电机，电机的输出端连接有驱动轴，驱动轴从下至上贯通甩干腔，驱动轴顶部与顶梁中心转动连接；驱动轴与转筒的底部相固接；甩干腔内设置有水管，水管沿驱动轴侧壁由上至下延伸入转筒中，水管另一端连接有水箱，水管与水箱之间设置电磁阀。该清洗装置，借助顶梁，将驱动轴的上下两端用轴承座支撑，当驱动轴和转筒旋转时，整体动态平衡，不易发生偏斜，提高清洗和甩干效果，提高设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 甩干机 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，未经青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023093457.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种医用棉签、棉球多功能烘干装置
- 下一篇：一种直流避雷器长波筛选试验装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
