[实用新型]划片装置有效
| 申请号： | 202023093786.6 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN216738071U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 方圭龙;金贤正 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/03 | 分类号： | C03B33/03 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 郭放;崔春植 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本实用新型的实施例的划片装置，能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板上形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中向基板喷射气体而使基板上浮，并在划片单元在基板上形成划片线的过程中停止向基板的气体的喷射。 | ||
| 搜索关键词： | 划片 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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