[实用新型]微机电装置和微型投影仪设备有效
| 申请号： | 202023093933.X | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214795413U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/00;G02B27/01;H04M1/02;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 罗利娜 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例涉及微机电装置和微型投影仪设备。一种微机电装置由具有腔的固定结构形成。可倾斜结构被弹性地悬挂在腔上方并且在可倾斜平面中具有主延伸部，并且能够绕平行于可倾斜平面的旋转轴线旋转。压电致动结构包括第一驱动臂和第二驱动臂，第一驱动臂和第二驱动臂承载相应的压电材料区并且在旋转轴线的相对侧延伸。第一驱动臂和第二驱动臂被刚性地耦合至固定结构并且被弹性地耦合至可倾斜结构。在操作期间，止动结构限制可倾斜结构相对于致动结构沿着垂直于旋转轴线的平面方向的运动。止动结构具有被形成在第一驱动臂与可倾斜结构之间的第一平面止动元件以及被形成在第二驱动臂与可倾斜结构之间的第二平面止动元件。根据本公开的实施例的微机电装置和微型投影仪设备的优点在于，对冲击具有高鲁棒性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 微型 投影仪 设备 | ||
【主权项】：
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