[实用新型]一种用于检测晶元的扫描电子显微镜

摘要

本实用新型公开了扫描电子显微镜技术领域的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体，所述扫描电子显微镜本体的底端设有底座，所述底座呈矩形，且底座的下表面设有支撑垫块，所述底座的上表面侧边设有固定连接的安装槽，所述底座的上方设有两组第一防尘板和两组第二防尘板，且第一防尘板和第二防尘板的底端固定连接有与安装槽相匹配的安装条，所述第一防尘板和第二防尘板的顶端固定连接有观察板，活动连接的第一防尘板和第二防尘板给扫描电子显微镜本体防尘，且在拆卸时简单方便，第一防尘板和第二防尘板一侧滑动连接的滚动轴上的毛刷可以清理上面的灰尘，方便后续的使用，结构简单且操作方便，实用性好。