[实用新型]一种紧凑型五轴位移台装置

摘要

本实用新型涉及五轴调节技术领域，具体为一种紧凑型五轴位移台装置，包括底板、活动板和调节固定板，调节固定板正面的设置有第一Z轴调节螺杆、第二Z轴调节螺杆、X轴调节螺杆、第一Y轴调节螺杆和第二Y轴调节螺杆；本实用新型通过两个驱动器一起控制偏转和Y轴，两个驱动器一起控制俯仰和Z轴，单独的一个驱动器控制X平移。位移台顶部平台有多种安装孔，使得位移台能兼容许多光机械组件，能够在一个方向实现五轴的精密调节，在狭小的真空环境或者实验器材中间可以灵活使用。结构紧凑，适用性高，稳定性可靠，单方位实现五轴调节，调节精度高，匹配性强，实际应用广泛，经济价值高。单一维度调节时不会影响其余维度的精度。